激光干涉仪是一种利用激光干涉原理测量物体形状、表面粗糙度、位移等参数的仪器。其原理是利用激光的相干性和干涉现象，通过将激光分成两束，分别照射到被测物体的不同位置，然后将两束激光重新合成，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来确定被测物体的形状、表面粗糙度、位移等参数。
具体来说，激光干涉仪由激光器、分束器、反射镜、透镜、检测器等组成。激光器发出的激光经过分束器分成两束，一束经过反射镜反射到被测物体上，另一束直接照射到参考平面上。被测物体上反射回来的激光和参考平面上的激光再次相遇，形成干涉条纹。通过检测干涉条纹的变化，可以确定被测物体的形状、表面粗糙度、位移等参数。
激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点，广泛应用于制造业、航空航天、地质勘探、医学等领域。