俄歇电子能谱是一种表征材料表面电子能量分布的技术。其原理基于俄歇效应，即当高能电子与材料表面原子相互作用时，电子会失去一部分能量并被弹出材料表面，形成俄歇电子。这些俄歇电子的能量与原初电子失去的能量相等，因此可以通过测量俄歇电子的能量来确定原初电子的能量。
俄歇电子能谱的实验装置包括一个电子枪、一个样品台和一个能量分析器。电子枪产生高能电子束，照射在样品表面，使得表面原子被激发并发射出俄歇电子。这些俄歇电子被能量分析器捕获并测量其能量分布，从而得到材料表面的电子能量分布情况。
俄歇电子能谱可以用于研究材料表面的电子结构、化学反应和表面形貌等方面，是表征材料表面性质的重要手段之一。