EDS原理是指能量分散X射线光谱仪（EDS）的工作原理。EDS是一种用于分析材料成分的仪器，它通过测量材料中的X射线能谱来确定材料的成分。当样品受到高能电子束轰击时，它会发出X射线。这些X射线的能量与样品中的元素种类和数量有关。EDS仪器通过测量这些X射线的能量来确定样品中的元素成分。由于不同元素的X射线能量不同，因此EDS可以用来确定样品中的元素种类和数量。